광간섭식 극박막 두께측정계  IRMS8599 시리즈 IRMS8599B • IRMAS8599S

IRMS8599 시리즈는 측정 대상인 박막에 투광하여 표면 반사광과 이면 반사광에 의한 간섭으로부터 막 두께를 측정합니다. 반도체 · 액정 패널 · 태양 전지 · LED 패널 · 도공 등의 제조 공정에 적합합니다. USB 통신을 탑재하고 있습니다.

기본 납기 : 45일 이내

1μm 이하의 극박막을 실시간 측정
  • 연속 분광 방식으로 FFT 해석, CF(커브 피팅) 해석이 가능
  • 최대 4층을 동시 계측
  • 사용 온도 0~50℃, IP65(방진 방적 구조)
RS-485 통신·아날로그 출력 기능 ,USB 연결

기종목록

기종 측정방법 측정범위 측정파장영역 기타
IRMS8599B 가시·근적외 연속 분광 방식 20nm~50μm 0.4~1.0μm USB
IRMS8599S 가시·근적외 연속 분광 방식 20nm~100μm 0.4~1.0μm RS-485+ 아날로그 출력
설정 표시기
이름 광간섭식 막두께계
형식 IRMS8599B
측정 방법 가시 근적외선 연속 분광 방식
측정 범위 20nm~50μm
측정 파장 영역 0.4~1.0μm
측정 거리/지름 10~80mm/φ20mm(평행광경통)
18mm/φ2mm(수렴광경통)
측정 간격 10~10000ms
광원 텅스텐 램프
섬유 이분기 번들 섬유
통신 USB 1.1 ※케이블 길이:최장 5m
표시 PC 연산 표시
사용온도범위 0~50℃
전원 24V DC (전원 유닛 IR-WEP에서 공급. 전원 유닛: 100~240V AC, 47~450Hz 대응)
소비 전력 최대 60VA
질량 약 5.6 kg
설치 방법 볼트 매달기 방식(M8 볼트 4개)
케이스 알루미늄 주물
보호 구조 방진 방적 구조(IP65)
■ IRMS8599S
이름 광간섭식 막두께계
형식 IRMS8599S
측정 방법 가시 근적외선 연속 분광 방식
측정 범위 20nm~100μm
측정 파장 영역 0.4~1.0μm
측정 거리/지름 10~80mm/φ20mm(평행광경통)
18mm/φ2mm(수렴광경통)
80mm/φ5mm(수렴광경통)
측정 간격 10~10000ms
광원 텅스텐 램프
섬유 이분기 번들 섬유
통신 인터페이스 RS-485
아날로그 출력 신호 4~20mA DC(부하 저항 500Ω 이하)
전원 24V DC
소비 전력 최대 150VA
질량 약 3.5kg
보호 구조 방진 방적 구조(IP65)